北京 5 月 14 日电（路透社）—— 与华为关系密切的中国芯片设备制造商思尔芯（SiCarrier）因其计划推出的产品种类广泛而引发关注。

该公司努力成为提供半导体所需的各类工具的一站式供应商，这体现了中国仍相对年轻的半导体行业如何响应习近平主席关于减少中国对外国供应商依赖的号召。

以下是对中国芯片设备行业的概述，包括一些主要的企业：

中国企业拥有多少市场份额？

根据咨询公司 TechInsights 的数据，去年中国国产的晶圆制造设备仅占中国采购量的 11.3%。

不过，这一比例高于 2020 年的 5.1%。2020 年美国开始限制芯片行业的出口，促使中国开始向国内半导体产业投入更多资金，数额高达数十亿美元。

在过去两年中，中国一直是全球最大的晶圆制造设备采购国。据 TechInsights 的数据，2024 年，中国采购了价值 410 亿美元的设备，占全球销售额的 40%。

中国在这一领域的主要短板是什么？

荷兰的阿斯麦公司（ASML.AS）是全球唯一一家生产最先进光刻系统的企业，这种光刻系统可在基底上形成图案。但自 2019 年以来，美国一直阻止阿斯麦向中国出售其极紫外（EUV）光刻工具。

这迫使中国企业只能进口复杂程度较低的深紫外（DUV）光刻系统来制造 7 纳米芯片。去年，美国还禁止中国获取阿斯麦的先进浸没式深紫外光刻机。

上海微电子装备（集团）股份有限公司是中国唯一一家拥有商用光刻系统的公司，其设备能支持 90 纳米芯片的生产，远远落后于阿斯麦。

芯载科技的专利显示其正在研发深紫外光刻系统，但这家初创企业尚未推出这些产品。

一条先进的半导体生产线需要 3000 多种工具，涵盖图形化、制程和检测等方面。根据国际数据公司（IDC）的说法，中国在制造 7 纳米及以下芯片的设备方面自给率仍不到 10%。

中国企业在哪些工具方面展现出了潜力？

国际数据公司（IDC）的资深半导体分析师曾志翔表示，中国在去胶和清洗设备方面的自给率已达到 50%。

北方华创(002371.SZ)和盛美上海(688082.SH)是这类设备的国内供应商。

北方华创的产品种类最为丰富，涵盖了在硅片上进行薄膜沉积、干法刻蚀、热处理和清洗等方面。其 2024 年营收达到 298 亿元人民币（约 41 亿美元），是 2020 年的五倍。

中微公司(688012.SH)是中国另一家大型芯片设备制造商。它专注于从硅片表面去除多余材料的干法刻蚀工具，但在薄膜沉积设备方面也在迅速扩张。

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